青海半導(dǎo)體潔凈車(chē)間注意事項(xiàng)
admin 2020-06-23 17:25:26 閱讀
半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米來(lái)計(jì)算的,所以微塵顆粒附著在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上,很有可能(maybe)影響到上面的精密導(dǎo)線(xiàn)布局的樣式,造成短路(電流不經(jīng)用電器、直接連電源兩極)或斷路情況。因此所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須放置在隔絕粉塵(形態(tài):固體微粒)進(jìn)入的密閉空間里,這就是半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的來(lái)由。
下面給大家說(shuō)說(shuō)出入半導(dǎo)體(semiconductor)潔凈車(chē)間需要注意的事項(xiàng):
1。無(wú)塵車(chē)間目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉(cāng),基本是屬于1級(jí),屬于特殊領(lǐng)域,面積相對(duì)較小。另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車(chē)間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來(lái)需求的一大方向。潔凈車(chē)間凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。半導(dǎo)體(semiconductor)潔凈車(chē)間內(nèi)部要確保粉塵(形態(tài):固體微粒)只出不進(jìn),因此潔凈車(chē)間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境,這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)(Draught Fan)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源輸入潔凈車(chē)間中。
2。為保持恒溫恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配(collocation)前面的鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開(kāi)多久。
3。所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此潔凈車(chē)間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀(tū wù),使塵埃特殊結(jié)構(gòu):莢膜、鞭毛、菌毛(fungus)等在潔凈車(chē)間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至最低程度。
4。所有建材均以不易產(chǎn)生靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)吸附的材質(zhì)為主。
5。所有人或事物進(jìn)出潔凈車(chē)間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵(形態(tài):固體微粒)先行除掉。
6。凈化車(chē)間是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。半導(dǎo)體(semiconductor)潔凈車(chē)間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一是防止水中粉粒污染晶圓,二是防止水中重金屬離子(metal ion)(heavy metal ion)污染金氧(Oxygen)半晶體管結(jié)構(gòu)的帶電載子信道(指通信的通道、是信號(hào)傳輸?shù)拿浇?,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑,在半導(dǎo)體工業(yè)的使用量非常驚人。
7。半導(dǎo)體(semiconductor)潔凈車(chē)間用到的氣源,包括吹干晶圓和機(jī)臺(tái)空壓所需要的,都需要使用98%氮?dú)?Nitrogen),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9。8%以上的高純氮。